Mae strwythurau falf sy'n rheoleiddio pwysau traws-lif yn ddeniadol ar gyfer cymwysiadau rheoli pwysau llif uchel oherwydd y llai o rym gweithredu sydd ei angen a llai o arwynebedd ôl troed dyfais. Cafodd falf giât cyllell ei gwneud, gan reoli llif o 1.3 Nl/munud ar bwysedd cyflenwad o 1.5 bar. Cafodd y falf ei gwneud yn ficro gan ddefnyddio ysgythriad ïon adweithiol dwfn (DRIE) a bondio ymasiad silicon. Mae defnyddio falfiau giât cyllell wedi'u peiriannu micro mewn systemau rheoli pwysau yn gwella perfformiad a gellir arbed costau.
Anfon ymchwiliad